樹脂トレーに多段積みされたガラス基板を洗浄機へ投入、排出された基板をトレーに戻して多段積みする装置です。
基板１枚あたり７秒で搬送しています。基板への傷や汚れ対策として、取り出し後の搬送ローラーは樹脂製で点当たりとなるよう工夫されています。