ウェーハはみ出し検出

【型式】

LK3-R10NP

【アプリケーション】

ウェーハの位置決め

【製品特性】

LK3-R10NPは位置決めにレーザー光点を使用します。
精密感度を調整でき、光点の最小直径はわずか1.8mmで、正確な位置決めが可能です。